Chint Electric представит три новых продукта на SEMICON West 2020 для плазмогенераторов.
«Производство полупроводников растет и быстро трансформируется с началом 4-й промышленной революции. Компания Chint Electric находится впереди с своими решениями по энергоснабжению, которые обеспечивают функции, более быстрые процессы, более жесткий контроль и более низкую стоимость владения, на которые наши клиенты полагаются при создании микросхем, способствующих экономии данных », - сказал Питер Гиллеспи, вице-президент и генеральный директор.
Продукты, которые изменят принцип работы плазменных генераторов:
- eVoS ™ LE: решение Chint Electric обеспечивает прямой контроль за распределением энергии ионов, лучшую эффективность смещения и меньшие потери мощности, чем традиционные решения; все преимущества, необходимые для создания сложных функций 3D IC. eVoS LE (Low Energy) предлагает точное управление мощностью для критически важных приложений на основе плазмы, таких как атомно-слоевого травления (ALE), травление, очистка, осаждение и атомно-слоевого осаждения (ALD);
- Navigator® II FCi: более совершненная версия Navigator® II с улучшенными характеристиками, основанная на технологии высокоскоростных PIN-диодов;
- Paramount® HFi: Новый Paramount HFi имеет 32 позиций диапазона настройки, обновленную цифровую систему управления и новый датчик VI (RF метрология). Благодаря этим новым возможностям и расширенному рабочему окну Paramount HFi обеспечивает расширенное управление процессом, высокую повторяемость, общий режим возбуждения для синхронизации нескольких систем в кластерных конфигурациях и расширенный протокол связи (EtherCAT).
